info@panadisplay.com
Struktura i priprema TFT tečnih kristala

Struktura i priprema TFT tečnih kristala

Jun 14, 2018

Ključna tehnologija u pripremi p-Si TFT


  1 ps ltps tft lcds tehnički nivo

image.png

2.Doping i aktivacija nečistoća u pripremi p-Si TFT

image.png

U poređenju sa VLSI doping tehnologijom, karakteristike p-Si dopinga su:

    

(a) niska toplotna provodljivost supstrata zahtijeva "blagi" proces dopiranja kako bi se ublažilo termičko oštećenje fotorezistora.

(b) energija ubrizgavanja je pogodna za doping filma (<100 nm)="" kada="" postoji="" maskirni="" sloj="" (ili="" maskirni="">

(c), oprema je jednostavna (niska cijena), i može postići visok prinos za veliku površinu područja.

(d) proces dopiranja je kompatibilan sa procesom aktivacije nečistoća na niskim temperaturama (obično manje od 650 oC, za plastičnu podlogu <200>


Defekti TFT polja

image.png


Uobičajeni defekti u TFT nizu procesa

Loše TFT karakteristike

image.png

U završnoj inspekciji TFT polja, defekti na tačkama su: ITO-sam kratki spoj na liniji podataka, kratki spoj ITO-sub linije podataka, kratki spoj ITO-CS, višak naboja, kratki spoj ITO mreže, IOFF, Low Vg ostale nedostatke.

image.pngimage.png


image.png

Elektrostatički kvar

Elektrostatički kvar se odnosi na proboj izolacionog sloja i poluprovodničkog sloja zbog statičkog elektriciteta. Rešetni sloj je direktno povezan sa signalnim slojem i dolazi do kratkog spoja. Lakše se pojavljuje na prstenu kratkog spoja ili na ivici podloge.

image.png



  Proces tekuće kristalne ćelije

image.png

Proces staničnih tekućih kristala (1) \ t

image.png

image.png

image.png


image.png

image.png


image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

I

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png


image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png