Dom > Izložba > Sadržaj

Preduslovi za film

Jun 20, 2018

Preduslovi za film


Visoke koncentracije (> nekoliko atomskih postotaka)
vodonika u a-Si filmu može rezultirati u lošem stanju
kvalitetni laserski kristalizirani poli-Si filmovi
- Vodonik evoluira eksplozivno, izazivajući
kristalizirani film koji ima mjehuriće / rupe
PECVD a-Si: H se mora dehidrogenirati prije
laserska kristalizacija
termičko žarenje ( npr. 1 sat na 450oC)
laserski aneal niske fluencije
Ujednačenost debljine sloja Si mora biti bolja od
± 5%, za jednoličnu veličinu zrna

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png