Dom > Izložba > Sadržaj

ODF-VAS

Nov 15, 2017

Sistem usisavanja vakuma

Cilj je napraviti TFT i CF u kutijama u vakuumu sa TFT i CF.

1.jpg


Osnovna struktura je sledeća

2.jpg

Sistem usisavanja vakuma sastoji se od sljedećih 3 sistema

3.jpg

Vakum align sistem Radni sati, uglavnom u sledećem redosledu

4.jpg

1.1 vakuumski sistem

Vakuumski sistem AS je uglavnom sastavljen od suve vakuumske pumpe (suve pumpe) i turbo-molekularne pumpe;

DP obično uzima samo vakuum na oko 10 Pa;

TMP može uzeti vakuum na oko 1Pa;


Slijedi shematski dijagram vakuumskog cjevovoda VAS mašine

5.jpg

1.2 adsorpcija stakla

Sistem usisavanja vakuma, Na osnovu potreba za preciznošću staklene kutije, staklo ne može imati deformacije, ali i smanjiti smetnje padanja, adsorpciju stakla na mašini najstarijom usisnom adsorpcijom, razvojem do elektrostatičke adsorpcije, a zatim se pojavljuje adsorpcija molekulske sile!

6.jpg

Na osnovu elektrostatičke adsorpcije i adsorpcije molekulske sile vršimo sledeće poređenje

7.jpg

1.3 kontrapunktni sistem

Sistem za pozicioniranje je jednostavno koordinacija za prikupljanje fotoaparata pomoću sistema za obradu slike, izračunavanje razlike položaja podloge, a zatim upravljački sistem podešava položaj podloge da bi se postigao precizno poravnanje;

8.jpg

Proces poravnanja je sledeći

1. grabiti gore i dolje Markove koordinate;

9.jpg

2. Izračunajte theta kako je prikazano na sledećoj slici

10.jpg


2. tada, donji podloga se pomera, a nova središnja tačka Bm je izračunata

3. konačno, Bm'moves na položaj Um;